下载保持装置、曝光装置和器件制造方法的技术资料

文档序号:2749534

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本发明公开了一种修正构件,用于修正光学构件的自重变形,它具有:对所述光学构件实质上外加反重力方向的弹力的第一部件;与所述第一构件夹着所述光学构件而相对配置的、在所述光学构件上实质上外加重力方向的弹力的第二部件。通过减少造成成像性能恶化的光学...
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