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本发明的正型辐射敏感性组合物含有下述（Ａ）～（Ｃ）成分：（Ａ）由以下述通式（１）（Ｒ↑［１］）↓［ｐ］Ｓｉ（Ｘ）↓［４－ｐ］表示的水解性硅烷化合物、其水解物及其缩合物组成的组中选出的至少一种化合物，式中，Ｒ↑［１］是碳数１～１２的非水解性的...
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