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一种干燥薄膜光阻剂包括官能性聚合物。该官能性聚合物具有α，β－不饱和基团和当暴露于光性辐射时产生游离基的基团。...
该专利属于美商长兴科技公司所有，仅供学习研究参考，未经过美商长兴科技公司授权不得商用。

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