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本发明公开了一种光掩模、及图案形成方法。本发明的目的在于：提供一种光掩模，该光掩模能够形成较好再现的相互交叉或者合流的多个狭缝图案。光掩模，在透过性衬底上，包括：彼此间隔相同分开设置的３个以上的叠片状第１遮光部分１１０ａ、与第１遮光部分１１...
该专利属于松下电器产业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过松下电器产业株式会社授权不得商用。

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