温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种利用压印技术制作微电容式超声波换能器的方法，其步骤包括：　　　　（ａ）提供可导电的一基板；　　　　（ｂ）于该基板上形成一支座薄膜层；　　　　（ｃ）利用压印方式于该支座薄膜层上形成阵列状排列的数个凹槽；　　　　（ｄ）提供一聚合物薄膜层，具...
该专利属于财团法人工业技术研究院所有，仅供学习研究参考，未经过财团法人工业技术研究院授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。