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描述了一种高生产能力的光刻过程，通过使用仔细控制的电场再令可聚合组合物固化，在可聚合的组合物中产生高分辨率的图形。该过程采用包含有所要图形的模板。令该模板精密地近接基底上的可聚合组合物。在模板－－基底的界面上施加外电场同时保持模板与基底之间...
该专利属于德克萨斯州大学系统董事会所有，仅供学习研究参考，未经过德克萨斯州大学系统董事会授权不得商用。

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