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成膜方法、液体供给头及液体供给装置制造方法及图纸
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文档序号:2746999
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一种成膜方法,通过在喷嘴孔(21)的内周面(212)及喷嘴板(2)的大致整个面上形成被加工膜的工序、和向喷嘴孔(21)内填充具有紫外线吸收性的掩模材的工序、和从喷嘴板(2)的上面(23)侧照射紫外线并利用透过掩模材时的紫外线的衰减及掩模材的...
该专利属于精工爱普生株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。
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