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一种正型抗蚀剂组合物，该抗蚀剂组合物包括在酸作用下显示增加的碱溶解度的树脂组分（Ａ）、通过曝光生成酸的酸生成剂组分（Ｂ）和有机溶剂（Ｃ）。组分（Ａ）具有：（ｉ）结构单元（ａ１），其含有可酸解离的、溶解抑制基团并且衍生自（甲基）丙烯酸酯，（ｉ...
该专利属于东京应化工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京应化工业株式会社授权不得商用。

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