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本发明公开了一种基于丝网印刷的图案化氧化铝介电层和栅极及其制备方法和应用，制备方法包括：将限域生长的氧化铝介电层浸没入异丙醇中，超声5～10分钟，干燥，采用丝网印刷方法在所述氧化铝介电层上丝网印刷一层光刻胶作为抗蚀层，固化1-2分钟；将所得...
该专利属于天津大学所有，仅供学习研究参考，未经过天津大学授权不得商用。

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