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用于去除光刻胶的组合物制造技术
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文档序号:2745960
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本发明涉及一种在制作电路或显示器件图形中使用的光刻胶去除剂组合物,更具体地说,涉及一种含有胺、溶剂和防腐剂的光刻胶去除剂组合物,所述防腐剂为选自包括三唑化合物、巯基化合物、含有羟基的有机酚化合物及其混合物的组的至少一种化合物。本发明的光刻胶...
该专利属于株式会社东进世美肯所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社东进世美肯授权不得商用。
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