下载图案形成材料、图案形成设备和图案形成方法的技术资料

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本发明的目的是提供能有效地抑制光敏层的感光度下降和能形成高度精细精确图案的图案形成材料、配备该图案形成材料的图案形成设备和使用所述图案形成材料的图案形成方法。为了达到该目的,提供一种图案形成材料,包含载体和载体上的光敏层,其中光敏层包含阻聚...
该专利属于富士胶片株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过富士胶片株式会社授权不得商用。

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