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一种产生照射器（１４）的照射强度轮廓的系统（３０）及方法，该照射器（１４）形成投射光刻系统（１０）的一部分。投射由该照射器产生的辐射至具有多个开孔（３４）的照射轮廓掩膜（３２）上，使得每个开孔都递送该辐射的特定部分。检测辐射的每个特定部分的...
该专利属于先进微装置公司所有，仅供学习研究参考，未经过先进微装置公司授权不得商用。

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