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物质组合物，其被用作液体抗蚀剂，包括含有单体部分和至少一个阳离子可聚合官能团的第一组分，和与该第一组分反应且含有至少三个阳离子可聚合官能团的交联剂。该物质组合物也包括阳离子光敏引发剂。在暴露于紫外光之后，该物质组合物通过固化而交联，形成固化...
该专利属于道康宁公司;密歇根大学董事会所有，仅供学习研究参考，未经过道康宁公司;密歇根大学董事会授权不得商用。

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