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本发明公开了一种大口径光学元件激光预处理和吸收型缺陷成像检测的联合装置，运用高能量重复率脉冲激光经能量调节和准直扩束形成大尺寸光斑对光学元件进行激光预处理照射，同时光学元件吸收型缺陷由于吸收照射激光束能量在样品内形成瞬态温度分布及折射率分布...
该专利属于电子科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过电子科技大学授权不得商用。

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