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一种光控法控制玻璃刻蚀深度的方法，属于无机化学领域，特别涉及一种能够用光控的方法准确控制玻璃刻蚀深度的刻蚀方法。其特征在于用光敏剂、感光生酸剂，增稠剂，刻蚀助剂组成感光刻蚀剂，感光刻蚀剂中各成分的质量百分比为：光敏剂：＜２％，感光生酸剂：５...
该专利属于北京科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京科技大学授权不得商用。

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