下载一种晶圆片的清洗装置的技术资料

文档序号:27444653

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本发明涉及晶圆片技术领域,尤其涉及一种晶圆片的清洗装置,一种晶圆片的清洗装置,包括底座,所述底座上一侧设有支柱,所述支柱顶端固定连接固定板,所述固定板底端设有固定箱,所述固定箱远离支柱一侧,所述固定板上一侧固定连接竖管,所述竖管一侧设有孔眼...
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