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本发明提供一种用于简单光刻及软光刻的小型恒温自控实验台。该实验台由一个梯形密闭箱，一个单片机控制器，一台真空泵组成。密闭箱体是由不锈钢板组成，前斜面是无色透明有机玻璃面板，面板上方为不透明盖板，在光刻实验时可以盖上，以避免外界光线的干扰。箱...
该专利属于重庆大学所有，仅供学习研究参考，未经过重庆大学授权不得商用。

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