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一种光刻胶气泡排除系统，包括：气泡收集桶，所述气泡收集桶上设置有第一排气管路；电机驱动泵，通过光刻胶运送管路将其输入端与气泡收集桶的光刻胶输出端连接，可将气泡收集桶中的光刻胶回吸至电机驱动泵内；第一电磁阀，位于第二排气管路上，关闭时，使光刻...
该专利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（上海）有限公司授权不得商用。

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