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描述了用于带电粒子束装置的磁性透镜部件、透镜和带电粒子束装置。所述磁性透镜部件包括：线圈载体，所述线圈载体具有截锥形主体；导线，所述导线被配置为围绕所述线圈载体提供线圈；以及卷绕元件，所述卷绕元件至少部分地包围所述截锥形主体，所述卷绕元件具...
该专利属于ICT集成电路测试股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ICT集成电路测试股份有限公司授权不得商用。

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