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本发明公开了一种二自由度电机执行机构及相应的六自由度微动台，该二自由度电机执行机构，包括基座，音圈电机，两个水平直线电机，以及水平运动导轨；所述音圈电机和所述每个水平直线电机均具有定子和动子；所述基座与音圈电机定子固定连接，所述音圈电机动子...该专利属于上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司授权不得商用。