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一种偏振分光棱镜基片无痕清洗装置制造方法及图纸
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下载一种偏振分光棱镜基片无痕清洗装置的技术资料
文档序号:27426891
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本实用新型公开了一种偏振分光棱镜基片无痕清洗装置,包括设备本体和清洗喷嘴,所述设备本体内部卡压有隔板,所述隔板一侧成型有高压清洗箱,所述隔板另一侧成型有超声波清洗箱,所述高压清洗箱顶部合页连接有盖板一,所述盖板一和所述高压清洗箱内壁上均插接...
该专利属于福州蓝达光电有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过福州蓝达光电有限公司授权不得商用。
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