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传感器装置制造方法及图纸
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文档序号:27424658
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本申请涉及传感器装置。在一个示例中公开了一种装置,包括衬底、在衬底上的包括活性表面和传感器接合焊盘的传感器、在衬底上并覆盖传感器的侧面的模制层,该模制层相对于衬底的顶表面的模制高度大于传感器的活性表面相对于衬底的顶表面的高度,以及在模制层和...
该专利属于伊鲁米那股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过伊鲁米那股份有限公司授权不得商用。
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