下载基板的弧度检测方法及其系统的技术资料

文档序号:27411223

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本发明公开了基板的弧度检测方法和系统,包括以下步骤:在定位板上固定多个千分表感应器,在定位板上设置载物台,载物台上设有多个通槽,千分表感应器的表头穿过通槽向上伸出;对基板表面进行清洗和擦拭,去除掉基板表面的污物;将待检测的基板置于载物台上,...
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