下载一种低温气体湿度测量系统及方法的技术资料

文档序号:27399193

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本发明提供一种低温气体湿度测量系统及方法,包括:利用冷镜露点法的原理,将气体湿度测量转化为对露点温度的测量;露点生成装置包括低温控温平台及冷镜,放置在低温控温平台载物台上,露点生成检测系统包括激光发射器和光电探测器,激光发射器、光电探测器通...
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