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提供旋转干燥装置，改善工件的吸附并减少吸附面的残留水，能实现干燥工序的短时间化和装置结构的简化。其包括：旋转的旋转台(10)；旋转台垫(11)，设置于旋转台(10)，具有保持工件的吸附面(12)；真空吸引机构，通过从吸附面(12)吸引流体，...
该专利属于株式会社冈本工作机械制作所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社冈本工作机械制作所授权不得商用。

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