下载一种大尺寸偏光应力检测装置的技术资料

文档序号:27304336

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本发明提供大尺寸偏光应力检测装置,包括光源、起偏器和视觉成像单元,还包括X轴运动支架组件和Y轴运动支架组件,X轴运动支架组件设置在Y轴运动支架组件的上方,并可以在Y轴运动支架组件上进行竖直运动;光源和起偏器通过承载台固定的安装在Y轴运动支架...
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