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本申请记载了一种在处理系统中使用的用于对远程等离子源的等离子源进行自由基监控的装置，并且所述装置包含：至少一个气体源；等离子源主体，所述等离子源主体具有至少一个通道，所述至少一个通道具有至少一个通道表面；第一热传感器收纳器，所述第一热传感器...
该专利属于MKS仪器公司所有，仅供学习研究参考，未经过MKS仪器公司授权不得商用。

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