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本发明涉及一种三轴集成MEMS矢量水听器及系统，包括MEMS声矢量传感器，其特征在于：还包括集成模块体，3个MEMS声矢量传感器分别设置于所述集成模块体的3个侧面，3个MEMS声矢量传感器的敏感方向相互垂直，呈三轴分布。本发明能够有效解决三...
该专利属于中国电子科技集团公司第三研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司第三研究所授权不得商用。

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