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一种用于光学镜面平行度与同轴度的非接触式测量与调整方法技术
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下载一种用于光学镜面平行度与同轴度的非接触式测量与调整方法的技术资料
文档序号:27235711
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一种用于光学镜面平行度与同轴度的非接触式测量与调整方法,其方法通过使用激光测距传感器,和一种特殊设计的反光翅片,通过使被测镜片进行平面位移的方式,对被测镜片的平行度与同轴度进行闭环测量与调整。将该方案运用于某种光学设备上,进行预调平和同轴调...
该专利属于电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过电子科技大学授权不得商用。
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