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本申请实施例提供的一种封闭式研磨装置，包括底座和研磨室。所述底座包围形成密封腔，外表面设置有抽气口。所述研磨室设置于所述密封腔内且外壁设置有研磨室气孔。所述研磨室的外壁和所述底座的内壁间隔设置。所述研磨室用于容纳柔性研磨杯。当用真空泵对所述...
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