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本发明涉及一种用于接收具有部分等离子体沉积衰减的晶片的等离子舟，其由多个彼此平行间隔开的舟板组成，所述舟板设有用于垂直接收晶片的晶片接收器，以便在运输过程中以及在涂覆室内的沉积过程中牢固地保持晶片，并且，其中所述舟板通过电绝缘间隔件彼此机械...
该专利属于尼邦科恩迈尔特种石墨集团有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过尼邦科恩迈尔特种石墨集团有限责任公司授权不得商用。

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