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本实用新型提供一种具有多阶应力集中区的压力传感器。压力传感器包括衬底、压力敏感单元、绝缘钝化层以及导线层；其中，衬底沿其厚度方向的第一表面设置有空腔，第一表面上设置有压力敏感单元；绝缘钝化层设置在压力敏感单元背离衬底的一侧，绝缘钝化层上设置...
该专利属于南京高华科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南京高华科技股份有限公司授权不得商用。

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