下载具有多平行环形惠斯通电桥的压力传感器的技术资料

文档序号:27223270

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本实用新型提供一种具有多平行环形惠斯通电桥的压力传感器。压力传感器包括衬底、压力敏感单元、绝缘钝化层以及导线层,压力敏感单元包括应力敏感膜、多个压敏电阻以及多根引线,衬底沿其厚度方向的第一表面设置有空腔;应力敏感膜设置在衬底的第一表面上,多...
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