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本发明涉及一种蒸镀装置包括蒸镀舱，在蒸镀舱的底部设置至少一个盛有蒸发材料的蒸发源，在蒸镀舱上还设置调节蒸镀舱内气体压强的蒸镀舱气压调节装置，在蒸镀舱的内壁上还活动地设置了至少一个便于更换的收集板，收集板用于收集沉积在其表面的蒸发原料，在蒸镀...
该专利属于杭州纤纳光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州纤纳光电科技有限公司授权不得商用。

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