温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种Ｍ×Ｎ薄膜致动镜阵列包括一有源矩阵、一钝化层、一蚀刻剂阻挡层和一个Ｍ×Ｎ致动结构阵列。该有源矩阵包括一基底、一个Ｍ×Ｎ晶体管阵列、一粘附层、一扩散阻挡层、－Ｍ×Ｎ连接端子矩阵和一应力平衡层。该钝化层形成于该有源矩阵的顶端，且该蚀刻剂阻挡...
该专利属于大宇电子株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过大宇电子株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。