下载薄膜晶体管及其制造方法的技术资料

文档序号:27192620

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薄膜晶体管包括支承于基板的栅电极、覆盖栅电极的栅极绝缘层、配置于栅极绝缘层上且包含多晶硅区域p的半导体层,多晶硅区域p具有:半导体层,其包括第一区域Rs、第二区域Rd、以及位于第一区域与第二区域之间的沟道区域Rc;源电极s,其与第一区域电连...
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