下载涂层装置的技术资料

文档序号:27190489

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本实用新型提供一种涂层装置,其包括:涂覆室、负压提供组件以及涂层溶液供给组件;涂覆室包括进料口和抽气口,涂覆室用于在其中对工件进行涂层;负压提供组件与涂覆室通过抽气口连通,用于当涂覆室被配置为密封状态时为涂覆室提供负压;涂层溶液供给组件与涂...
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