下载光学元件的技术资料

文档序号:2718054

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一种光学元件,其特征在于: 具有基体基片和波导基片以及薄膜层, 上述薄膜层设置在上述基体基片和波导基片之间,是包含以Ta↓[2]O↓[5]或Nb↓[2]O↓[5]为主要成分的膜在内的单层或多层结构。...
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