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本发明公开了一种TOPCon太阳能电池原位掺杂钝化层的制备方法，包括如下步骤：S1.首先将硅片输送进入工艺腔内；S2.硅片进入工艺腔后，先将工艺腔抽真空；S3.然后向抽真空后的工艺腔内通入硅烷和红磷蒸汽作为工艺气体，并开启快速加热将工艺气体...
该专利属于江苏杰太光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏杰太光电技术有限公司授权不得商用。

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