下载一种异质集成的系统级封装结构及封装方法的技术资料

文档序号:27129004

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本发明提供一种异质集成的系统级封装结构及封装方法,结构包括:陶瓷基体,其一面挖腔形成有第一腔体;柯伐环,设于陶瓷基体另一面,用于形成第二腔体;第一盖板,设于第一腔体开口处,用于封闭第一腔体;第二盖板,设于第二腔体开口处,用于封闭第二腔体;第...
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