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一种改善钝化层表面金属腐蚀残留的腐蚀工艺。涉及一种半导体制造—湿法腐蚀工艺技术领域,尤其涉及一种改善钝化层表面金属腐蚀残留的腐蚀工艺。提供了一种提高产品线条美观、降低产品过腐蚀导致报废的高风险的一种改善钝化层表面金属腐蚀残留的腐蚀工艺。本发...该专利属于扬州扬杰电子科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过扬州扬杰电子科技股份有限公司授权不得商用。
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