下载一种LED芯片的制作方法的技术资料

文档序号:27107674

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本申请实施例提供了一种LED芯片的制作方法,该方法包括:在衬底表面形成外延结构;在外延结构背离衬底一侧形成光刻胶掩膜层,光刻胶掩膜层具有至少一个通孔,通孔在衬底上的投影面积沿第一方向逐渐减小;以光刻胶掩膜层为掩膜,依次在通孔内形成金属反射层...
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