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本申请提供一种芯片近场扫描系统和方法。该芯片近场扫描系统用于获取大功耗芯片表面的电磁场近场信息，包括油槽，油槽内通入有流动的绝缘油；样品台，设置在油槽内，用于放置芯片，芯片浸没在所述绝缘油中；探头，与芯片对应设置，探头用于在外部驱动源驱动下...该专利属于中国电子产品可靠性与环境试验研究所（（工业和信息化部电子第五研究所）（中国赛宝实验室））所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子产品可靠性与环境试验研究所（（工业和信息化部电子第五研究所）（中国赛宝实验室））授权不得商用。