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本发明的目的是提供可高速、高精度测定光学各向异性薄膜的光学轴的方向和大小、以及膜厚，并可进一步根据二维受光元件进行分布测定的方法和装置。其具体方式是以从测定点（Ｍ）向上的法线（Ｚ）作为中心，从以预定角度间隔设定的多个入射方向，使Ｐ偏振光的单...
该专利属于株式会社茉莉特斯所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社茉莉特斯授权不得商用。

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