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本发明涉及椭偏仪或散射仪，包括光源(1)；偏振器(5)；光学照明系统(2，4)，适于朝向样品(6)引导入射偏振光束(11)；光波前分束器(20)，被布置为接收通过反射、透射或衍射产生的次级光束(12)，所述光波前分束器(20)被定向为形成三...
该专利属于堀场(法国)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过堀场(法国)有限公司授权不得商用。

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