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本发明公开了一种用于磁控溅射镀膜机的靶管装卸装置，包括轨道，所述轨道的顶部滑动连接有移动小车，所述移动小车的顶部通过沿竖直方向分布的升降组件活动连接有定位组件，所述定位组件的右侧通过执行机构活动连接有研磨组件，所述执行机构包括滑台，所述滑台...
该专利属于潘丽华所有，仅供学习研究参考，未经过潘丽华授权不得商用。

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