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安徽奥飞声学科技有限公司
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一种MEMS结构制造技术
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下载一种MEMS结构的技术资料
文档序号:27045728
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本申请公开了一种MEMS结构,包括:衬底,具有空腔;振动支撑层,形成在衬底上方并且覆盖空腔;第一电极层,形成于振动支撑层上方;压电层,形成于第一电极层上方,压电层具有凹槽,凹槽在厚度方向上延伸穿透压电层,凹槽将MEMS结构分割成中间区域和外...
该专利属于安徽奥飞声学科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过安徽奥飞声学科技有限公司授权不得商用。
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