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本发明公开了一种基于超表面光学天线的太赫兹信号探测器及其制备方法，包括：衬底、掺杂层、二氧化硅层、超表面光学天线层、欧姆电极、肖特基电极和普通电极；其中，超表面光学天线层宽度为2～10mm，包括微米基元以及多个平面金属纳尖单元；微米基元为微...
该专利属于华中科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过华中科技大学授权不得商用。

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