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本发明涉及一种微机械器件，所述微机械器件包括层；形成在层内的至少第一切口，用于限定第一摆动元件，第一摆动元件通过层的第一弹簧部分被可摆动地悬挂；和形成在层内的至少第二切口，用于限定第二摆动元件，第二摆动元件通过层的第二弹簧部分被可摆动地悬挂...
该专利属于弗劳恩霍夫应用研究促进协会所有，仅供学习研究参考，未经过弗劳恩霍夫应用研究促进协会授权不得商用。

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