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本发明提出了一种用于晶界扩散渗金属的钕铁硼磁铁改性装置，包括进料腔室、溅射扩散工艺腔室、出料腔室以及基座，进料腔室设置有三维工件转架系统，离子源刻蚀系统以及第一加热系统，溅射扩散工艺腔室设置有溅射源系统、高能离子源系统以及第二加热系统，出料...
该专利属于亚星智联(厦门)科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过亚星智联(厦门)科技有限公司授权不得商用。

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